1. МГПУ И.П.Шамякина
  2. Материалы конференций
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: dspace.mspu.by/handle/123456789/3931
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorГолозубов, Андрей Леонидович-
dc.date.accessioned2020-05-25T10:08:14Z-
dc.date.available2020-05-25T10:08:14Z-
dc.date.issued2019-03-28-
dc.identifier.isbn978-985-477-677-4-
dc.identifier.uridspace.mspu.by/handle/123456789/3931-
dc.descriptionГолозубов, А. Л. Использование низкотемпературной плазмы для реализации плазмохимических процессов нанесения тонкопленочных защитных покрытий / А. Л. Голозубов // Инновационные технологии обучения физико-математическим профессионально-техническим дисциплинам = Innovative teaching techniques in physics, mathematics, vocational and mechanical training : материалы XI Международной научно-практической конференции, Мозырь, 28—29 марта 2019 г. / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования «Мозырский государственный педагогический университет имени И. П. Шамякина» ; [редколлегия: Т. В. Карпинская (ответственный редактор) и др.]. — Мозырь : МГПУ им. И. П. Шамякина, 2019. — С. 274—275.ru
dc.description.abstractИсторически сложилось так, что первоначально основной областью применения тонкопленочных покрытий (ТП) являлась радиоэлектронная промышленность, где к качеству пленок предъявлялись такие специфические требования, как стехиометричность химического состава и эпитаксиальность роста, что и предопределило пути технического развития, связанные преимущественно с вакуумными технологиями, позволяющими получать ТП высокого качества.ru
dc.language.isootherru
dc.publisherМозырь : МГПУ им. И. П. Шамякинаru
dc.subjectТехнологияru
dc.subjectМашиностроениеru
dc.subjectСтроительствоru
dc.subjectТонкопленочные покрытияru
dc.subjectТехнологические процессыru
dc.subjectНизкотемпературная плазмаru
dc.titleИспользование низкотемпературной плазмы для реализации плазмохимических процессов нанесения тонкопленочных защитных покрытийru
dc.typeArticleru
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Голозубов, А. Л. Использование низкотемпературной плазмы.pdf247,58 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.