Физическая модель процессов в жаростойких кремнийсодержащих тонкопленочных покрытиях и приповерхностной области подложки при действии высоких температур

Abstract

Защитные покрытия, наносимые существующими методами упрочнения, как правило, требуют последующей механической обработки упрочненной поверхности, что часто затруднено ее высокой твердостью, вязкостью, или другими специфическими свойствами, а также возможностью отслоения покрытия от подложки в процессе обработки. Действие высоких температур оказывает различное влияние на происходящие процессы. В качестве жаростойких покрытий наиболее рационально использовать ТП на основе оксида, карбида и нитрида кремния.