Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
dspace.mspu.by/handle/123456789/3931| Название: | Использование низкотемпературной плазмы для реализации плазмохимических процессов нанесения тонкопленочных защитных покрытий |
| Авторы: | Голозубов, Андрей Леонидович |
| Ключевые слова: | Технология Машиностроение Строительство Тонкопленочные покрытия Технологические процессы Низкотемпературная плазма |
| Дата публикации: | 28-мар-2019 |
| Издатель: | Мозырь : МГПУ им. И. П. Шамякина |
| Аннотация: | Исторически сложилось так, что первоначально основной областью применения тонкопленочных покрытий (ТП) являлась радиоэлектронная промышленность, где к качеству пленок предъявлялись такие специфические требования, как стехиометричность химического состава и эпитаксиальность роста, что и предопределило пути технического развития, связанные преимущественно с вакуумными технологиями, позволяющими получать ТП высокого качества. |
| Описание: | Голозубов, А. Л. Использование низкотемпературной плазмы для реализации плазмохимических процессов нанесения тонкопленочных защитных покрытий / А. Л. Голозубов // Инновационные технологии обучения физико-математическим профессионально-техническим дисциплинам = Innovative teaching techniques in physics, mathematics, vocational and mechanical training : материалы XI Международной научно-практической конференции, Мозырь, 28—29 марта 2019 г. / Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования «Мозырский государственный педагогический университет имени И. П. Шамякина» ; [редколлегия: Т. В. Карпинская (ответственный редактор) и др.]. — Мозырь : МГПУ им. И. П. Шамякина, 2019. — С. 274—275. |
| URI: | dspace.mspu.by/handle/123456789/3931 |
| ISBN: | 978-985-477-677-4 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Голозубов, А. Л. Использование низкотемпературной плазмы.pdf | 247,58 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.